高速砂轮

用正交尝试对多种可控要素进行定量钻研

硬脆材料划片的实现依赖于锐利的金刚石刀片和高精度、高刚性的划片安拆,以及高精度的空气静压从轴等来实现。正在领会硬脆材料的机能和划片机理的根本上,做为设备制制厂家对硬脆材料划片工艺的研究,就显得十分需要和紧迫,对工艺参数的研究和优化,可以或许支撑设备及半导体行业的成长。

( 4)采用田口尝试法,获得优化的工艺参数,对尝试数据进行处置,用正交尝试对多种可控要素进行定量研究,并进行尝试验证。

砂轮划片机的划片质量和划片效率,取划片工艺参数有十分亲近的关系.正在划片硬脆材猜中,划切道宽度取崩边的大小,次要是受从轴转速、刀片、划片速度、划片深度、冷却体例等工艺参数的影响。所以本研究次要是研究工艺参数最佳化,从划片质量、划片效率、刀片磨埙以及邓命上分析考虑,得出经济合用的工艺参数。